無塵烘箱，無塵固化烤箱用于高精度硅上薄膜電阻制造過程中堅膜工藝。也用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤。
無塵烘箱，無塵固化烤箱技術參數
1、 無塵等級：Class 100;
2、 溫度均勻度：±2℃;
3、 溫度波動度：±0.5℃（空載）；
4、 溫控精度：±0.1℃;
5、 溫度范圍：RT+10-200/300℃;
6、 升溫速率：≥8℃/min（可修改）；
7、 內腔材質：SUS304＃鏡面不銹鋼；
8、 外箱材質：優質冷軋板噴塑或SUS304＃不銹鋼；
9、 密封條：耐高溫氟橡膠密封條；
10、氮氣裝置：可調式浮子流量計；
11、安全裝置：漏電保護，超溫保護，三色提示燈等。
無塵烘箱，無塵固化烤箱概述
無塵烤箱用于高精度硅上薄膜電阻制造過程中堅膜工藝。也用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤。
無氧化烤箱，高溫無氧化烤箱概述
無氧化烤箱應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，形成高溫、低氧（無氧）、潔凈環境，特別適合半導體制造、COB封裝、醫療衛生、柔性線路板印刷、精密模具煺火等行業的無氧化干燥烘烤工藝要求，廣泛應用于電子產品、五金制品、醫療衛生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等行業。
無氧化烤箱，高溫無氧化烤箱技術參數
Ø 內部尺寸：600*700*800mm(深*寬*高)
Ø 材質：外箱采用優質冷軋板噴塑，內箱采用SUS304不銹鋼
Ø 溫度范圍：RT+10-250℃
Ø 溫度分辨率：0.1℃
Ø 溫度波動度：＜±1℃
Ø 溫度均勻度：≤±1.5%
Ø 升溫速率：5℃/min，（空箱測試）
Ø 降溫時間：可滿足180℃-60℃，降溫4℃/min（空箱測試）
Ø 電源：380V 50HZ ,6KW
Ø 計時功能：具有獨立的計時器，計時開關，計時報警器
Ø 氧含量
高溫狀態氧含量：≤ 20ppm +氣源氧含量
低溫狀態氧含量：≤ 50ppm +氣源氧含量
Ø 氮氣控制：流量計節氮系統，無氧、低氧環境下大節省氮氣消耗量
Ø 鼓風裝置：采用大功率耐高溫長軸馬達，大口徑不銹鋼渦輪扇葉，可在高溫環境下長期穩定工作
Ø 氮氣凈化系統：微型油水塵埃過濾組mini fulter，可對氮氣油水、0.1μm顆粒進行過慮
